Capteur d'humidité basé sur l'utilisation de nanofils de Silicium

K. Samaâli; Darine Kaddour; Smail Tedjini; T. Baron; M. Pons

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Capteur d'humidité basé sur l'utilisation de nanofils de Silicium

K. Samaâli Darine Kaddour ¹ Smail Tedjini ¹ T. Baron ² M. Pons ^{3, 4}

1 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes

2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

4 Orange Labs

K. Samaâli AuthorId : 1066648
Author

Darine Kaddour ¹ AuthorId : 1054122
Author

Smail Tedjini ¹ AuthorId : 1066073

Author

T. Baron ² AuthorId : 94228
Author

M. Pons ^{3, 4} AuthorId : 58900

Author IdHAL : michel-pons ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5833-6063

1 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes (50, rue Barthélémy de Laffemas – BP54 26902 Valence Cedex 9 - France) StructId : 25697

Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (France) StructId : 300339
UPMF - Université Pierre Mendès France - Grenoble 2 (BP 47 - 38040 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 3886

2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France) StructId : 616

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 / EP2073 (France) StructId : 441569
UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (1130 rue de la Piscine, BP 75 38402 Saint Martin D'Hères - France) StructId : 32956

UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 89889
INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 300275
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5266 (France) StructId : 441569

4 Orange Labs (28 Chemin du Vieux Chêne, 38240 Meylan - France) StructId : 242003

Orange Labs (France) StructId : 365900

Résumé : no abstract

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Electromagnetism

Complete list of metadata

https://hal.inria.fr/hal-01057175
Contributor : Valence Lcis <>
Submitted on : Thursday, August 21, 2014 - 3:54:19 PM
Last modification on : Tuesday, July 27, 2021 - 11:42:03 AM

Identifiers

HAL Id : hal-01057175, version 1

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K. Samaâli, Darine Kaddour, Smail Tedjini, T. Baron, M. Pons. Capteur d'humidité basé sur l'utilisation de nanofils de Silicium. 18èmes Journées Nationales Microondes, May 2013, Paris, France. ⟨hal-01057175⟩

Capteur d'humidité basé sur l'utilisation de nanofils de Silicium

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