A non linear diffusion problem arising in semiconductor process modelling with a singularity - Inria - Institut national de recherche en sciences et technologies du numérique Accéder directement au contenu
Rapport Année : 1982

A non linear diffusion problem arising in semiconductor process modelling with a singularity

E. Fernandez Cara (1)
E. Fernandez Cara
  • Fonction : Auteur
INRIA Rocquencourt

Domaines

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https://inria.hal.science/inria-00076384

Soumis le : mercredi 24 mai 2006-20:45:51

Dernière modification le : mardi 7 février 2023-03:41:41

Archivage à long terme le : vendredi 13 mai 2011-20:09:16

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Dates et versions

inria-00076384 , version 1 (24-05-2006)

Identifiants

  • HAL Id : inria-00076384 , version 1

Citer

E. Fernandez Cara. A non linear diffusion problem arising in semiconductor process modelling with a singularity. RR-0174, INRIA. 1982. ⟨inria-00076384⟩

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