https://hal.inria.fr/inria-00076252
Contributeur : Rapport de Recherche Inria
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Soumis le : mercredi 24 mai 2006 - 20:27:31
Dernière modification le : vendredi 16 septembre 2016 - 15:12:16
Document(s) archivé(s) le : vendredi 13 mai 2011 - 19:07:46
Americo Marrocco. Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling). [Rapport de recherche] RR-0305, INRIA. 1984. 〈inria-00076252〉
