Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling)
Résumé
Résumé disponible dans les fichiers attachés
Rapport
(Rapport De Recherche)
Année : 1984
Rapport De Recherche Inria : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://inria.hal.science/inria-00076252
Soumis le : mercredi 24 mai 2006-20:27:31
Dernière modification le : mardi 7 février 2023-03:41:35
Archivage à long terme le : vendredi 13 mai 2011-19:07:46
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : inria-00076252 , version 1
Citer
Americo Marrocco. Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling). [Rapport de recherche] RR-0305, INRIA. 1984. ⟨inria-00076252⟩
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