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Reports
Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling)
Résumé : Résumé disponible dans les fichiers attachés
https://hal.inria.fr/inria-00076252
Contributor : Rapport de Recherche Inria <>
Submitted on : Wednesday, May 24, 2006 - 8:27:31 PM
Last modification on : Thursday, February 11, 2021 - 2:50:07 PM
Long-term archiving on: : Friday, May 13, 2011 - 7:07:46 PM
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